Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных нано-структурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Материаловедение и технологии материалов".
Вес
240
Ширина упаковки
150
Высота упаковки
12
Глубина упаковки
220
Автор
Александр Ильин,Виталий Плихунов,Леонид Петров,Виктор Спектор