Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
529 руб
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Вес
335
Ширина упаковки
145
Высота упаковки
14
Глубина упаковки
215
Автор
Сергей Гаврилов,Алексей Белов
Тип издания
Отдельное издание
Тип обложки
Твердый переплет
Тираж
700
Произведение
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
» Каталог
» Книги » Учебная литература » Студентам и аспирантам » Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство » Автоматика. Радиоэлектроника. Связь