Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов
499 руб
Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое качество продукции". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники.Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу "Технология материалов электронной техники". Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.
» Каталог
» Книги » Учебная литература » Студентам и аспирантам » Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство » Автоматика. Радиоэлектроника. Связь