Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Вес
285
Ширина упаковки
150
Высота упаковки
10
Глубина упаковки
225
Автор
Владимир Тимофеев,Анатолий Погалов,Сергей Угольников,Андрей Андрианов,Олег Панкратов
» Каталог
» Книги » Учебная литература » Студентам и аспирантам » Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство » Автоматика. Радиоэлектроника. Связь